摘錄自2020年3月31日中央社報導
台積電積極發展工業廢水再生技術，預計於民國110年啟動南科園區工業廢水再生工程，導入工業再生水做為晶圓製程用水，至112年每天將達2萬噸再生水。
為拓展多元水資源，台積電104年起積極發展再生水技術，成功降低廠內廢水水質相關因子，目前自產所得的再生水，不只達到半導體製程用水標準，排放水質也符合法規放流規定。
台積電今年進一步與南部科學園區管理局簽約，促建「台積電南科再生水廠」，預計明年啟動園區工業廢水再生工程，導入工業再生水做為台積電晶圓製程用水。台積電指出，初期規劃每天可供給再生水約0.5萬噸，112年每天則將增加至2萬噸再生水。
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